換句話說,最重要的一點就是,其對空氣潔凈度的要求變得更加嚴格了,甚至達到了苛刻的程度。針對電子行業(yè)對潔凈室的特殊要求,其空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)及其設(shè)備必須用特殊的配置以使得設(shè)備能夠提升室內(nèi)空氣品質(zhì),從而提高電子產(chǎn)品的性能品質(zhì)及各種設(shè)備的使用壽命。
電子行業(yè)潔凈室的重要組成部分有芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間。在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,要求更高的過濾等級和更低的泄漏率。
此外,由于凈化機組的特性,需要防止經(jīng)過處理的空氣與未處理的空氣進行交叉污染,要避免未處理的空氣通過負壓段進入空氣處理機組,經(jīng)過處理的空氣由正壓段泄漏到空氣處理機組義務(wù)而降低機組的整體效率。